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使用八步激光退火設備具有那六大設備特點?

文章出處:公司動態 責任編輯:東莞市創遠激光科技有限公司 發表時間:2024-09-23
  ?①模塊化設計與集成:激光退火設備通常采用整機模塊化設計與集成,這種設計方式使得設備能夠兼容多種尺寸的薄片晶圓,如4、6、8英寸等。

②激光整形技術:設備集成了自研的成熟好的激光整形技術,確保光斑能量高度均勻且穩定,從而提高退火處理的效果和一致性。
?使用八步激光退火設備具有那六大設備特點?的圖片
③優異的退火效果:退火后,材料表面均勻、平整,表現出優秀的電學特性及表面形貌特征。這對于提高材料的性能和穩定性具有重要意義。

④嚴格的含氧量控制:設備嚴格控制腔體含氧量,以有效控制表面碳析出量和分布,減少因含氧量過高而導致的材料性能下降問題。

⑤監控與補償系統:配置有監控與補償系統,用于監測光學能量穩定性和非退火面溫度,確保退火過程的穩定性和可控性。

⑥符合標準與通信支持:配備EFEM傳輸系統,整機符合SEMI標準,并支持SECS-GEM通信協議,便于與其他生產設備進行集成和通信。


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